Uniwersytet Zhejiang prezentuje maszynę litograficzną e-beam o precyzji 0,6 nm jako alternatywę dla technologii ASML EUV

Dostęp do zaawansowanych procesów produkcyjnych decyduje o przewadze gospodarczej i militarnej. Najważniejszym elementem tej układanki jest litografia, czyli technika pozwalająca "drukować" obwody na waflach krzemowych. Od lat na tym polu dominuje jedna firma, a dostęp do jej najbardziej zaawansowanych maszyn jest ściśle regulowany. Inne kraje, w tym Chiny, intensywnie pracują nad własnymi rozwiązaniami, które mogłyby zapewnić im niezależność.

Chiński przełom w litografii e-beam to ważny krok w dążeniu do niezależności, ale nie jest to jeszcze bezpośredni zamiennik dla masowej produkcji chipów.

165 miliardów dolarów i koniec z wysyłaniem chipów przez Pacyfik. TSMC buduje kompletny łańcuch produkcji w Ameryce

Chiny zaprezentowały swoją pierwszą komercyjną maszynę do litografii elektronowiązkowej (e-beam), nazwaną "Xizhi". Urządzenie, opracowane przez naukowców z Uniwersytetu Zhejiang, stanowi ważny krok w dążeniu kraju do samowystarczalności w produkcji półprzewodników. Chiny z powodu amerykańskich sankcji nie mają dostępu do najnowszych maszyn litograficznych EUV holenderskiej firmy ASML. Nowe urządzenie jest odpowiedzią na te restrykcje i pozwala na nanoszenie obwodów o wysokiej precyzji, porównywalnej ze światowymi standardami. Technologia e-beam, w przeciwieństwie do optycznej, nie wymaga stosowania kosztownych masek fotograficznych, co ułatwia prototypowanie i produkcję układów w małych seriach.

Tajwańska firma GlobalWafers ze wparciem z CHIPS Act rozpoczęła produkcję 300 mm płytek krzemowych w fabryce Sherman Texas

Osiągnięcie chińskich inżynierów jest znaczące, jednak nie stanowi bezpośredniego zagrożenia dla dominacji ASML w segmencie masowej produkcji. Głównym ograniczeniem technologii e-beam jest jej niska wydajność. Podczas gdy maszyny EUV naświetlają duży obszar wafla w jednym momencie, system elektronowiązkowy "rysuje" wzory linia po linii. Z tego powodu litografia e-beam jest nieefektywna w przypadku produkcji na wielką skalę, jakiej wymagają procesory do komputerów czy smartfonów. Wnioskiem jest więc to, że "Xizhi" znajdzie zastosowanie głównie w badaniach, rozwoju, produkcji chipów kwantowych, a także tworzeniu masek dla starszych typów litografii. To ważny element budowania niezależności, ale problemu masowej produkcji najbardziej zaawansowanych układów na razie nie rozwiązuje.